如何利用碳化硅微粉切割硅晶片
利用碳化硅微粉切割硅晶片具有以下特点:
1.高纯度、大结晶的绿碳化硅原材料,保证了绿碳化硅切割微粉的优良切割性能和稳定的物理状态;
2.粒度形状为等积而具刀锋,保证了绿太阳能碳化硅微粉作为切割刃料的均衡自锐性,从而保证被切割材料TTV的较小化;
3.粒度分布集中并且均匀;
4.有高的热震稳定性和荷重软化温度,这确保了在荷重切割时的小的线膨胀系数,从而保证切割的稳定性;并且能够和切割机有很好的适配性;
5.表面经过特殊处理,微粉具备大的比表面积和清洁的外表,与聚乙二醇等切削液有很好的实配性。